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  • 感光胶的基本构成和紫外感光胶的感光频谱

  • 本站编辑:xghl发布日期:2014-04-24 10:50 浏览次数:
 
所有的光刻胶都含有两种基本原料:某种Novolak树脂和光敏剂。
 
其中光敏剂的主要作用是保证感光胶在没有曝光的状态下不会被溶解。novolak树脂在加了光敏剂之后,在没有被所需要的波长的光源曝光后,不会在碱性溶液里溶解。在光刻过程中,受到光照射的部分里的光敏剂发生光化学反应,从而将PAC变成了可以溶于碱性溶液的物质。
 
不同感光胶的具体化学结构不同,其感光频谱液随之发生变化。因为曝光所需要的剂量主要取决于感光胶的厚度、光源的波长以及感光胶的光敏频谱,了解所使用的感光胶的感光频谱就特别重要。
 
通常感光胶的供货厂商会提供对应于每一种感光胶的感光频谱曲线。使用者可以根据自己所用的光源的波长、所对应的吸收率、感光胶的厚度,厂商推荐的曝光剂量等计算出所需要的曝光时间。
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